全國咨詢熱線：
13282432291
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|
名稱 |
X軸 |
Y軸 |
Z軸 |
B軸 |
c軸 |
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行程 |
230mm |
200mm |
200mm |
±100° |
Nx360° |
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最大速度 |
1000mm/s |
1000mm/s |
1000mm/s |
200rpm |
200rpm |
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雙向定位精度 |
1.2μm |
1.2μm |
1.2μm |
12arcsec |
12arcsec |
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雙向重復定位精度 |
0.5μm |
0.5μm |
0.5μm |
7arcsec |
7arcsec |
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直線度 |
2.5μm |
2.5μm |
2.5μm |
3μm （徑向跳動） |
3μm（徑向跳動） |
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平面度 |
2.5μm |
2.5μm |
2.5μm |
3μm （軸向跳動） |
3μm （軸向跳動） |
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