動(dòng)臺(tái)1.webp "雙軸高精密線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)}")
雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，滿足高速度，高加速度，高精度的產(chǎn)品定制需求，適用于玻璃薄片檢測(cè)、LED封裝檢測(cè)、激光加工、屏幕檢測(cè)，三維形貌等高端制造業(yè)。
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名稱 |
X軸 |
Y軸 |
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行程 |
200mm |
300mm |
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最大速度 |
500mm/s |
500mm/s |
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最大加速度 |
1g |
1g |
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分辨率 |
100nm |
100nm |
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平面度 |
±1μm |
±1μm |
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直線度 |
±1μm |
±1μm |
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定位精度（補(bǔ)償后） |
±1μm |
±1μm |
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重復(fù)定位精度 |
0.2μm |
0.2μm |
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垂直度 |
±4arcsec （X軸與Y軸垂直度） |
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