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運動臺.webp "三軸高精密線規(guī)運動臺}")
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名稱 |
X軸 |
Y軸 |
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行程 |
550mm |
550mm |
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分辨率 |
0.1 μm |
0.1 μm |
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定位精度 |
±3.0 μm |
±3.0 μm |
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重復(fù)定位精度 |
±1.0 μm |
±1.0 μm |
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直線度 |
±2.0 μm |
±2.0 μm |
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平面度 |
+2.0 μm |
±2.0 μm |
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最大速度 |
1000mm/s |
1000mm/s |
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最大加速度 |
1.0g |
1.0g |
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最大負(fù)載 |
Z+5kg |
X+Z+5kg |
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正交性 |
±5.0 μm(XY) |
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